Примеры устройств на основе МЭМС прмышленного исполнения

Рисунок А.1 – Гироскоп, акселерометр

Рисунок Б.1 – Преобразователь абсолютного давления

Таблица Б.1 Технические характеристики преобразователя абсолютного давления

	Диапазон измеряемых давлений, МПа 0,1
Напряжение питания, В	5 ± 0,1
Номинальный выходной сигнал, мВ	40…130
Нелинейность выходного сигнала, %	<0,2
Начальный разбаланс моста, мВ
<±3 Диапазон рабочих температур, °С	–50…+100
Температурный коэффициент чувствительности, %/10°С	меньше 0,15
Температурный дрейф «нуля», %/10°С	меньше 0,2
	Габариты, мм 20 x 5 x 5

Рисунок Б.2 – Пьезорезистивная инерциальная
микросистема для измерения малых ускорений

Таблица Б.2 Технические характеристики пьезорезистивной инерциальной микросистемы для измерения малых ускорений

Диапазон измерения ускорений, g	2-10
Размеры кристалла микросистемы, мм	8,0x2,5x0,44
Вес кремниевой инерционной массы, мг	2
Характерные размеры кремниевых балок, мкм	600x20x10
Чувствительность при напряжении питания 9 В, мВ/g	1,9
Резонансная частота микросистемы, Гц	1200
Рабочий диапазон частот, Гц	от 0 до 400

Рисунок Б.3 – Термоанемометрическая микросистема для контроля состояния газовой среды (стрелка слева указывает на технологическую воздушная полость, а стрелка справа – на чувствительные резистивные элементы на тонких вывешенных диэлектрических перемычках, толщиной около 1 мкм).

Таблица Б.3 Технические характеристики термоанемометрической микросистемы для контроля состояния газовой среды

Напряжение питания	5 В, 9В
Выходной сигнал	0 - 100 мВ
Время срабатывания	не более 1 с
Диапазон исследуемых расходов	от 0,001 до 60 л/мин
Потребляемая мощность	не более 30 кВт при питании 5 В
Относительная чувствительность	не менее 6 мВ*мВт^-1(л/мин)^-1
Вес	< 2 г
Габаритные размеры	35 х 15 х 10 мм